通過(guò)按鍵可靠精確控制三種預(yù)設(shè)模式
過(guò)程可靠性：多傳感器控制，集成傳感器，多級(jí)控制回路確保穩(wěn)固的控制響應(yīng)，用于最佳的表面光潔度
模塊化系統(tǒng)：適用于所有應(yīng)用場(chǎng)合
閥島 CPX/MPA
功能集成：診斷和狀態(tài)監(jiān)控功能集成在一個(gè)閥島上
系統(tǒng)有效性更高、生產(chǎn)力提高
過(guò)程可靠性更高
集成簡(jiǎn)單、連續(xù)的解決方案
不間斷地監(jiān)控耗氣量：流量傳感器SFAM
流量大，結(jié)構(gòu)緊湊
起始測(cè)量點(diǎn)為滿量程的 1%
可作為單個(gè)設(shè)備獨(dú)立工作或與 MS 系列氣源處理裝置完美組合
可靠便捷：絕對(duì)值流量信息，帶閾值，明亮的顯示屏便于讀取數(shù)據(jù)和調(diào)節(jié)切換點(diǎn)
多種流量，適用于不同的應(yīng)用場(chǎng)合
